Synthetic Quartz

ALCHEMISTの全製品は、産業の現場の要件に合わせて設計されており、
長年にわたり蓄積された技術力をもとに優れた耐久性・精度・安定性を実現、
安心してご使用いただけます。

Synthetic Quartz

エッチングパーツ

ALCHEMISTの合成石英は、純度が高く、
OH基の含有量が非常に少ないのが特徴で、
内部の気泡が高密度に存在し、構造に欠損がなく、
エッチング工程でのパーティクルの発生を減らします。

※ NQ #4 : Natural quartz materials and parts are also supported

Unit : ppb

Item	Al	Be	Ca	Co	Cr	Cu	Fe	K	Li	Mg	Mn	Na	Ni	Ti	V	Zn
EQ#01	≤10	≤1	≤10	≤1	≤1	≤1	≤5	≤30	≤1	≤10	≤1	≤15	≤1	≤1	≤1	≤1
EQ#02	≤10	≤1	≤10	≤1	≤1	≤1	≤5	≤30	≤1	≤10	≤1	≤15	≤1	≤1	≤1	≤1

Physical Properties

Items	Values
Density ( g/cm3 )	2.2
Coefficient of Thermal Expansion ( x10-7 /K )	5.5
Softening Point (˚C )	1.670
Annealing Point (˚C )	1.210
Strain Point (˚C )	1.070
Thermal Conductivity(20 ℃ , w/m.k)	1.38

Product Size

Unit : mm

OD	ID	Thickness Range	Tolerance (OD, ID, T)	WT Tolerance
370	300	4 ~ 65	±0.5	±10.0%
420	330	4 ~ 65	±0.5	±10.0%
470	350	4 ~ 65	±0.5	±10.0%
520	400	4 ~ 65	±0.5	±10.0%

Synthetic Quartz Product Line

	Item	Focus Ring	Single Ring	Top Ring	GDP	LINER	Phot Mask
	Process	Etch	Etch	Etch	CVD	CVD	Photo
	Image

Product