SiC

ALCHEMISTの全製品は、産業の現場の要件に合わせて設計されており、
長年にわたり蓄積された技術力をもとに優れた耐久性・精度・安定性を実現、
安心してご使用いただけます。

SiC

SiCリング

ウェハの外側部分でプラズマを制御してエッチングの均一
度を確保する核心的な部品です。
Siに比べて高強度・高耐食性の材料です。

Specifications	Ring
Durability	Etcher
Process Uniformity	Single Crystal / Poly Crystal
Replacement Frequency	Focus Ring, Edge Ring, Insert Ring
Main Applications	Ø200 ~ 400 mm

Product