SI 概要

Si(シリコン)は、半導体産業において最も広く利用されている核心的な材料で、安定した電気特性を発揮し、加工性に優れており、各種デバイスの構成品やウェハの製造に使用されます。

ドライエッチングでも優れた互換性と設計の自由度を高めることができ、複雑な形状の部品製作に適しています。